[发明专利]一种多晶硅半熔铸锭工艺有效
| 申请号： | 201810602876.1 | 申请日： | 2018-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN108531985B | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 王振防;王佳;唐珊珊;刘传君;杨涛;刘赛赛 | 申请（专利权）人： | 山东大海新能源发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 | 代理人： | 王宽 |
| 地址： | 257300 山东省东营市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种多晶硅半熔铸锭工艺，属于光伏技术领域。该多晶硅半熔铸锭工艺包括下述步骤：1)装料阶段：将硅料装填入坩埚，转移坩埚至铸锭炉；2)加热、熔化阶段：关闭隔热笼，将铸锭炉抽至真空，加热、熔化硅料，在熔化阶段中后期逐步打开隔热笼至第一开度；3)长晶阶段：控制隔热笼的上升速度调整坩埚底部的温度控制长晶速度，结晶阶段的隔热笼的上升至少包括顺序调整的第一上升速率、第二上升速率和第三上升速率三个阶段；4)退火、冷却阶段即制得多晶硅锭。该工艺制备的多晶硅高效产出率高，多晶硅锭的长晶初期形成的底部的缺陷少。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 熔铸 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅半熔铸锭工艺，其特征在于，包括下述步骤：1)装料阶段：将硅料装填入坩埚，转移坩埚至铸锭炉；2)加热、熔化阶段：关闭隔热笼，将铸锭炉抽至真空，加热、熔化硅料，在熔化阶段中后期逐步打开隔热笼至第一开度；3)长晶阶段：控制隔热笼的上升速度调整坩埚底部的温度控制长晶速度，结晶阶段的隔热笼的上升至少包括顺序调整的隔热笼的第一上升速率、第二上升速率和第三上升速率三个阶段；4)退火、冷却阶段：对长晶结束的铸锭进行退火、冷却，即制得多晶硅锭。
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