[发明专利]一种多晶硅半熔铸锭用坩埚及其喷涂工艺和应用有效
申请号: | 201810602905.4 | 申请日: | 2018-06-12 |
公开(公告)号: | CN108754602B | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
发明(设计)人: | 王佳;唐珊珊;刘传君;杨涛;王振防;王振刚 | 申请(专利权)人: | 山东大海新能源发展有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06;B05D7/24 |
代理公司: | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 | 代理人: | 王宽 |
地址: | 257300 山东省东营市*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本申请公开了一种多晶硅半熔铸锭用坩埚及其喷涂工艺和应用,属于光伏技术领域。该多晶硅半熔铸锭用坩埚,包括坩埚本体和喷涂在坩埚本体内部表面的氮化硅层,所述氮化硅层的厚度为1mm‑2mm。该坩埚可防止坩埚本体中的杂质渗入多晶硅铸锭中,并且不会在多晶硅铸锭过程中脱落而与坩埚本体粘连;该坩埚的制备工艺简单,坩埚表面的氮化硅层光滑;使用该坩埚制备多晶硅锭的良率高。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 熔铸 坩埚 及其 喷涂 工艺 应用 | ||
【主权项】:
1.一种多晶硅半熔铸锭用坩埚,其特征在于,包括坩埚本体和涂覆在坩埚内表面的氮化硅层,所述氮化硅层的厚度为1mm‑2mm。
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