[发明专利]硅片生产工艺中水泵的控制方法和装置有效
| 申请号： | 201810603656.0 | 申请日： | 2018-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN108644099B | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | 王建波;吴艳杰;孙小同;成冬冬;吴晓彬;张广强 | 申请（专利权）人： | 山东大海新能源发展有限公司 |
| 主分类号： | F04B49/06 | 分类号： | F04B49/06 |
| 代理公司： | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 | 代理人： | 赵长林 |
| 地址： | 257300 山东省东营市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种硅片生产工艺中水泵的控制方法和装置，该方法包括如下步骤：分别获取硅片生产过程中在冷却工艺、切割工艺、清洗工艺阶段的参数信息；根据每个生产工艺的参数信息，确定分别为冷却工艺、切割工艺、清洗工艺供水的第一水泵、第二水泵、第三水泵的电机运行频率，并根据分别为冷却工艺、切割工艺、清洗工艺供水的第一水箱、第二水箱和第三水箱的储水量和第一水泵、第二水泵、第三水泵的电机运行频率，确定为第一水箱、第二水箱和第三水箱供水的工艺水箱的工艺水泵的运行频率；控制第一水泵、第二水泵、第三水泵、工艺水泵按照对应的运行频率工作。本申请根据工艺的实时供水量调整水泵的电机运行频率，可以达到节能的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 水泵 水箱 电机运行频率 冷却工艺 清洗工艺 硅片 生产工艺 切割 方法和装置 参数信息 工艺水泵 运行频率 中水泵 供水 供水量调整 工艺水箱 生产过程 储水量 申请 节能 | ||
【主权项】：
1.一种硅片生产工艺中水泵的控制方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：获取硅片生产工艺的参数信息，其中，所述生产工艺包括：冷却工艺、切割工艺、清洗工艺；所述冷却工艺的参数信息包括如下至少之一：冷却温度、水蒸气量；所述切割工艺的参数信息包括如下至少之一：切割面积、切割温度、切割速度、切割压力、切割液的类型、切割液成分比例；所述清洗工艺的参数信息包括如下至少之一：清洗水温、水流大小；根据每个生产工艺的参数信息，确定为所述每个生产工艺供水的水泵的电机运行频率，并根据为所述每个生产工艺供水的水箱的储水量和水泵的电机运行频率，确定工艺水箱的工艺水泵的运行频率；其中，为所述冷却工艺供水的水泵和水箱为第一水泵和第一水箱，为所述切割工艺供水的水泵和水箱为第二水泵和第二水箱，为所述清洗工艺供水的水泵和水箱为第三水泵和第三水箱；所述工艺水箱通过所述第一水泵为所述第一水箱供水，所述工艺水箱通过所述第二水泵为所述第二水箱供水，所述工艺水箱通过所述第三水泵为所述第三水箱供水；控制所述第一水泵、所述第二水泵、所述第三水泵、所述工艺水泵按照对应的运行频率工作。
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