[发明专利]大口径元件体内缺陷快速检测装置和方法

摘要

一种大口径元件体内缺陷快速检测装置和方法，该装置主要包括激光器、半波片、偏振片、光束整形器、第一成像镜头、第一CCD相机、第二成像镜头、第二CCD相机、显微镜照明光源、光纤、YZ二维移动平台、XYZ三维移动平台、扫描同步控制系统和计算机。本发明利用YZ二维移动平台和XYZ三维移动平台分别控制光源和高、低倍成像系统运动，避免了大口径元件快速运动导致的危险性和测量结果不稳定性。本发明采用低倍全口径激光散射快速扫描成像和高倍定点明场成像相结合的方式，不仅实现体缺陷快速定位，而且能准确测量其尺寸，为元件质量评价、分级提供可靠依据。

主权项

1.一种大口径元件体内缺陷快速检测装置，其特征在于，包括激光器(1)、半波片(2)、偏振片(3)、光束整形器(4)、第一成像镜头(7)、第一CCD相机(8)、第二成像镜头(9)、第二CCD相机(10)、显微镜照明光源(11)、光纤(12)、YZ二维移动平台(13)、XYZ三维移动平台(14)、扫描同步控制系统(15)和计算机(16)；所述的激光器(1)、半波片(2)、偏振片(3)、光束整形器(4)置于所述的YZ二维移动平台(13)上，且所述的激光器(1)发出的激光依次经所述的半波片(2)、偏振片(3)和光束整形器(4)形成准直带状光束沿X向输出；在该准直带状光束的垂直方向设置待测元件(5)，使准直带状光束垂直于所述的待测元件(5)的侧面入射到内部；所述的第一成像镜头(7)、第一CCD相机(8)、第二成像镜头(9)、第二CCD相机(10)置于所述的XYZ三维移动平台(14)上，所述的第一成像镜头(7)和第一CCD相机(8)位于待测元件(5)正面，第一成像镜头(7)的光轴与准直带状光束的入射方向相互垂直；所述的第二成像镜头(9)和第二CCD相机(10)与所述的第一成像镜头(7)并列放置，第二成像镜头(9)的光轴与第一成像镜头(7)的光轴相互平行；所述的显微镜照明光源(11)发出的光经过所述的光纤(12)导入到所述的第二成像镜头(9)的内部，从第二成像镜头(9)出射；所述的扫描同步控制系统(15)控制所述的YZ二维移动平台(13)和XYZ三维移动平台(14)的同步移动，保证准直带状光束的照明区域和第一成像镜头(7)的成像物面重合。