[发明专利]基于折射率调控薄膜的偏振无关反射式介质光栅

摘要

本发明涉及一种基于折射率调控薄膜的偏振无关反射介质光栅，属于光学领域，所述光栅包括衬底1和光栅层4，并且衬底1上依次镀制有反射膜2、氧化物介质膜连接层3，并在光栅层刻蚀光栅槽结构；所述反射膜2为折射率调控多层介质薄膜，该折射率调控多层介质薄膜2包括高折射率材料薄膜2‑1和低折射率材料薄膜2‑2。本发明提供的基于折射率调控薄膜的偏振无关反射介质光栅的中心波长为1064纳米，在入射角度为‑1级利特罗角，在1050~1080纳米范围可以同时使TE、TM偏振方向上的‑1级衍射效率高于99%，波段内最高衍射效率高于99.5%，可以实现偏振无关入射光的高效率衍射。

主权项

1.一种基于折射率调控薄膜的偏振无关反射介质光栅，其特征在于，所述光栅包括衬底（1）和光栅层（4），并且衬底（1）上依次镀制有反射膜（2）、氧化物介质膜连接层（3），并在光栅层刻蚀光栅槽结构；所述反射膜（2）为折射率调控多层介质薄膜，该折射率调控多层介质薄膜（2）包括高折射率材料薄膜（2‑1）和低折射率材料薄膜（2‑2）；所述低折射率材料薄膜（2‑2）的低折射率镀膜材料为SiO2,所述高折射率材料薄膜（2‑1）的高折射率材料为（Ta2O5）或（HfO2），所述氧化物介质膜连接层（3）的材料为SiO2。