[发明专利]一种低翘曲多晶硅太阳能电池用基板的制造方法

摘要

本发明属于多硅基板技术领域，具体涉及一种低翘曲多晶硅太阳能电池用基板的制造方法。本发明提供一种多晶太阳能电池表面喷砂制绒的方式，利用此方式可以控制多晶硅片在制绒后的翘曲程度。本发明通过湿法喷砂调整硅片两面的制绒程度以获得一个两面具有绒面结构的硅片，然后对硅片两面制绒后的光泽度值来判断喷砂处理程序对硅片两面的损伤程度，进而达到控制硅片翘曲的程度，以达到减少破片发生的机率。

主权项

1.一种低翘曲硅片的制造方法，其特征在于：利用喷砂工艺，对硅片表面第一面以及第二面进行喷砂处理；所述第二面是与所述第一面相反一侧的面；/n所述喷砂工艺为湿法喷砂，所述湿法喷砂是指将水与磨料所混合的喷砂液利用泵加压经由喷嘴射出，均匀地对硅片表面进行冲击，使硅片表面产生凹凸不平的制绒表面；/n所述湿法喷砂工艺中磨料为150～1000目的碳化硅或氧化铝；喷砂液为水与磨料组成，其中磨料重量占喷砂液重量的0.1～0.2；喷嘴压力为0.1～0.5MPa；喷砂液对硅片表面冲击时间为1～15min；/n对硅片表面第一面以及第二面进行喷砂处理结束后采用光泽度计以20度测量角度量测硅片表面第一面及第二面光泽度值，并计算硅片表面第一面及第二面光泽度值的差值；/n通过硅片表面第一面及第二面光泽度值的差值判断喷砂处理后的硅片翘曲值；所述硅片表面第一面及第二面光泽度值的差值越大，喷砂处理后的硅片翘曲值越大；光泽度值差值越小，喷砂处理后的硅片翘曲值越小。/n