[发明专利]一种开腔压差式光纤法珀液位传感器及其液位测量方法有效
| 申请号： | 201810609327.7 | 申请日： | 2018-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN108759983B | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 刘铁根;王双;江俊峰;张晚琛;刘琨;王雪;张金石 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01F23/292 | 分类号： | G01F23/292 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 李素兰 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种开腔压差式光纤法珀液位传感器及其液位测量方法，包括由单晶硅膜片（1）、圆管状的高硼硅玻璃套管（2）、圆柱形的D型高硼硅玻璃管（3）和光纤（4）以及以及由单晶硅膜片（1）、圆管状的高硼硅玻璃套管（2）、圆柱形的D型高硼硅玻璃管（3）和光纤（4）所构成的法珀腔（8），单晶硅膜片（1）作为弹性膜片用于感受压力；高硼硅玻璃套管（2）、D型高硼硅玻璃管（3）作为传感器的支撑结构和光纤（4）的容纳结构，通孔（7）使法珀腔（8）与外界连通；光纤端面与D型高硼硅玻璃（3）管端面持平；法珀腔腔长6与单晶硅膜片中心位置形变量： |
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| 搜索关键词： | 一种 开腔 压差式 光纤 法珀液位 传感器 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种开腔压差式光纤法珀液位传感器，其特征在于，该传感器包括由单晶硅膜片(1)、圆管状的高硼硅玻璃套管(2)、圆柱形的D型高硼硅玻璃管(3)和光纤(4)以及所构成的一个法珀腔(8)，其中：所述单晶硅膜片(1)作为弹性膜片，用于感受压力；所述高硼硅玻璃套管(2)、D型高硼硅玻璃管(3)同时作为传感器的支撑结构和光纤(4)的容纳结构；其中：高硼硅玻璃套管(2)和单晶硅膜片(1)贴紧；D型高硼硅玻璃管(3)与单晶硅膜片(1)非接触，D型高硼硅玻璃管(3)外径与高硼硅玻璃套管(2)内径相同；光纤(4)从D型高硼硅玻璃管(3)中穿过，D型高硼硅玻璃管(3)外侧具有一个与轴平行的平面，插入高硼硅玻璃套管(2)后，与轴平行的平面与高硼硅玻璃套管(2)内壁构成一个轴向的通孔(7)；通孔(7)使法珀腔(8)与外界连通；光纤端面与D型高硼硅玻璃(3)管端面持平；所述光纤(4)的端面和单晶硅膜片(1)的内表面形成法珀腔(8)的两个反射面，光纤(4)与单晶硅膜片(1)的距离决定了单晶硅膜片不发生形变时法珀腔(8)的初始腔长(6)。
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