[发明专利]共焦位移传感器有效
| 申请号： | 201810609531.9 | 申请日： | 2018-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN109084686B | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 武井英人;坂口富一 | 申请（专利权）人： | 株式会社基恩士 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京格罗巴尔知识产权代理事务所(普通合伙) 11406 | 代理人： | 孙德崇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种共焦位移传感器，其能够防止由于光学构件的球面像差造成的测量精度的降低。共焦位移传感器包括：投光用光源，其被构造为产生具有多个波长的光；销孔，其被构造为通过允许从投光用光源出射的光穿过而出射检测光；光学构件，其被构造为在经由销孔出射的检测光中产生轴向色像差并且使检测光朝向测量对象会聚；测量控制部，其被构造为基于在经由光学构件照射到测量对象的检测光中的在聚焦于测量对象的同时被反射穿过销孔的检测光来计算测量对象的位移；头壳体，其被构造为收纳销孔和光学构件。光学构件包括被构造为使检测光衍射的第一衍射透镜和被构造为使检测光折射的第一折射透镜。第一衍射透镜被布置为使非衍射面从头壳体暴露。 | ||
| 搜索关键词： | 位移 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种共焦位移传感器，其使用共焦光学系统对测量对象的位移进行测量，所述共焦位移传感器包括：投光用光源，其被构造为产生具有多个波长的光；销孔，其被构造为通过允许从所述投光用光源出射的光穿过而出射检测光；光学构件，其被构造为在经由所述销孔出射的所述检测光中产生轴向色像差并且使所述检测光朝向所述测量对象会聚；测量控制部，其被构造为基于在经由所述光学构件照射到所述测量对象上的所述检测光中的通过在聚焦于所述测量对象的同时被反射而穿过所述销孔的检测光来计算所述测量对象的位移；以及头壳体，其被构造为收纳所述销孔和所述光学构件，其中，所述光学构件包括被构造为衍射所述检测光的第一衍射透镜和被构造为折射所述检测光的第一折射透镜，并且所述第一衍射透镜被布置为使非衍射面从所述头壳体暴露。
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