[发明专利]触觉传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201810610619.2 | 申请日： | 2018-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN108955994A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 孙旭光;王春凯;迟程;李彤;刘昶 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | G01L9/06 | 分类号： | G01L9/06 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张成新 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种触觉传感器，包括：第一电极层，所述第一电极层上设置有第一电极阵列；叠加在所述第一电极层上的压阻敏感层，所述压阻敏感层包括压阻敏感单元阵列以及具有开口阵列的隔离层，所述压阻敏感单元阵列与所述开口阵列一一配合；以及叠加在所述压阻敏感层上的第二电极层，所述第二电极层上设置有第二电极阵列；其中，所述第一电极阵列、所述压阻敏感单元阵列以及所述第二电极阵列一一对应连接。 | ||
| 搜索关键词： | 压阻 第一电极 第二电极 敏感单元 敏感层 触觉传感器 开口阵列 叠加 隔离层 制备 配合 | ||
【主权项】：
1.一种触觉传感器，包括：第一电极层，所述第一电极层上设置有第一电极阵列；叠加在所述第一电极层上的压阻敏感层，所述压阻敏感层包括压阻敏感单元阵列以及具有开口阵列的隔离层，所述压阻敏感单元阵列与所述开口阵列一一配合；以及叠加在所述压阻敏感层上的第二电极层，所述第二电极层上设置有第二电极阵列；其中，所述第一电极阵列、所述压阻敏感单元阵列以及所述第二电极阵列一一对应连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院电子学研究所，未经中国科学院电子学研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810610619.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
