[发明专利]一种半导体光刻板清洗装置

摘要

本发明涉及一种半导体光刻板生产领域，尤其涉及一种半导体光刻板清洗装置。一种半导体光刻板清洗装置，该装置包括外罩机架组件以及依次设置在外罩机架组件内的上料机构、旋转抓取装置、定位顶升输送滚轮装置、第一输送滚轮装置、直线移动抓取机构、清洗装置和第二输送滚轮装置，所述的上料机构上的光刻板通过旋转抓取装置放置至定位顶升输送滚轮装置，定位顶升输送滚轮装置连接第一输送滚轮装置，第一输送滚轮装置上的光刻板通过直线移动抓取机构放置至清洗装置并由直线移动抓取机构取出放置至第二输送滚轮装置；该装置采用自动化进料和清洗，提高了清洗的洁净度自动化程度高，批量处理能力强，可以广泛用于工业生产之中。

主权项

1.一种半导体光刻板清洗装置，该装置包括外罩机架组件以及依次设置在外罩机架组件内的上料机构、旋转抓取装置、定位顶升输送滚轮装置、第一输送滚轮装置、直线移动抓取机构、清洗装置和第二输送滚轮装置，所述的上料机构上的光刻板通过旋转抓取装置放置至定位顶升输送滚轮装置，定位顶升输送滚轮装置连接第一输送滚轮装置，第一输送滚轮装置上的光刻板通过直线移动抓取机构放置至清洗装置并由直线移动抓取机构取出放置至第二输送滚轮装置；其特征在于，上料机构包括放料座、辊道和上料小车；可移动式放料座用于放置待加工的光刻板，放料座底面平整，上部设置V型储料槽，V型储料槽的出料一边低于靠料一边；所述的辊道安装在两侧的辊道侧板中，辊道侧板固定安装在机架上，辊道与上料小车相互衔接，放料座能在辊道和上料小车上移动；所述的辊道的末端设置有料座锁紧装置，并在辊道的外侧设置有小车锁紧装置；旋转抓取装置包括真空吸盘装置和摆臂装置；所述的真空吸盘装置包括真空连接板、真空吸盘调节架和真空吸盘，真空连接板固定连接着数根真空吸盘调节架，每个真空吸盘调节架上方设置有导向槽，多个吸盘调节架通过调节螺母固定设置在导向槽上，真空吸盘安装板固定安装有吸盘连接杆，吸盘连接杆的底端连接着真空吸盘；所述的摆臂装置包括电机、第二电机、旋转轴承座、旋转轴和摆臂，电机位于在整个装置的最上方，安装固定在机架上，电机通过皮带与旋转轴连接，旋转轴两端各安装有一个旋转轴承座，旋转轴承座固定在机架上旋转轴的中部，固定安装有摆臂，摆臂顶端装有第二电机，第二电机下方连接有一根旋转丝杠，旋转丝杠两端通过两个丝杠轴承座安装在摆臂上，与第二电机在同一直线上，摆臂的一侧固定有轨道，轨道上有滑块，滑块通过驱动连接块与旋转丝杠连接，当旋转丝杠正转、反转时，能带动滑块上下移动；滑块上连接有摆臂支架，摆臂支架能随着滑块的上下移动而移动，摆臂支架的下部连接真空连接板；定位顶升输送滚轮装置包括架体、输送滚轮装置、抓取定位装置和提升横移装置；架体固定在外罩机架组件上，输送滚轮装置包括侧板、传动轴和纵向滚轮，两块侧板固定在架体上，多根传动轴横向并排设置在两块侧板之间，所述的每根传动轴上串联多个纵向滚轮，且两两纵向滚轮间有两个挡边轮，使得两个纵向滚轮之间有一定的空隙，每根传动轴的端部设置有皮带轮，皮带轮通过皮带相互传动连接，皮带传动连接设置有电机；所述的抓取定位装置包括定位板、移动板和拨动架，定位板和移动板均设置在传动轴的下方，定位板与架体固定连接，并在定位板和移动板之间设置有两根轴，所述的定位板与轴固定连接，移动板与轴通过轴套相连接，并在移动板的两侧分别设置有皮带夹具，每个皮带夹具均固定在一条皮带上，所述的皮带架设在皮带轮上并传动连接设置有电机；所述的定位板和移动板上均设置有拨动架，拨动架包括立杆、上杆和拨动杆，立杆设置在定位板和移动板的两端，立杆上端位于纵向滚轮上方，上杆架设在两根立杆上，在上杆上向下设置有多根拨动杆，多根拨动杆的下端位于纵向滚轮的横向槽内；所述的提升横移装置包括气缸固定板、顶升气缸、导向杆、连接板、滚轮安装条和横向滚轮，所述的气缸固定板固定设置架体上，顶升气缸固定在气缸固定板上，所述的连接板与顶升气缸的活塞杆相连接，导向杆通过轴套设置在气缸固定板上，导向杆的上端与连接板固定连接，多根滚轮安装条横向并排设置在连接板上，在滚轮安装条设置多个滚轮支架，横向滚轮设置在滚轮支架上，在顶升气缸伸出的时候，横向滚轮凸出位于纵向滚轮的上方；所述的直线移动抓取机构包括真空吸盘装置、直线移动传动轴、升降装置和纵向移动装置；所述的真空吸盘装置包括真空连接板、真空吸盘调节架和真空吸盘，真空连接板固定连接着数根真空吸盘调节架，每个真空吸盘调节架上方设置有导向槽，多个吸盘调节架通过调节螺母固定设置在导向槽上，真空吸盘安装板固定安装有吸盘连接杆，吸盘连接杆的底端连接着真空吸盘；滑轨底板的上下两侧各有滑轨，上下滑轨上各装有个滑块，上面两个滑块正对下面两个滑块上各装有一个升降装置，滑轨底板的中间部位上下装有两个传动轴，两个传动轴上都装有轴承连接座，传动轴的一端连接有电机，轴承连接座通过轴套连接在传动轴上，轴承连接座连接在升降装置上，控制升降装置的直线移动，传动轴对应的滑轨底板上有通槽，方便轴承连接座的移动，另外一根转动轴上连接着另一个升降装置，电机与电机的位置相对放置，转动轴的连接、移动情况与传动轴一样；升降装置的上下移动部分的底座顶部侧板下固定有电机，底座内部装有旋转丝杠，电机的传动轴部分和旋转丝杠穿过顶部侧板的一个通孔，电机的传动轴上和旋转丝杠上各装有一个同步带轮，两个同步带轮通过皮带连接着，顶部侧板下有一块导轨连接板，导轨连接板通过轴承套连接在旋转丝杠上，导轨连接板的两侧下方各装有导轨，每个导轨上都装有两个滑块；升降装置的纵向移动部分与两根导轨底部固定连接在一起，连接板上面部分装有电机，电机连接着连接板底面的旋转轴，旋转轴的两侧各有导轨，每个滑轨上装有滑块，旋转轴上装有轴套，滑块和轴套连接在真空连接板上。