[发明专利]一种半导体光刻板清洗的除尘装置

摘要

本发明涉及一种半导体光刻板生产领域，尤其涉及一种半导体光刻板清洗的除尘装置。该装置包括外壳体、上安装板、上顶紧结构、上除尘抽屉、中除尘滚轮输送抽屉、下除尘抽屉和下顶紧机构，所述的上安装板设置在外壳体的上部，在外壳体上设置有抽屉口，所述的上除尘抽屉、中除尘滚轮输送抽屉和下除尘抽屉分别设置在抽屉口内，上除尘抽屉、中除尘滚轮输送抽屉和下除尘抽屉与外壳体之间分别通过滑轨和滑槽相连接；所述的上顶紧结构与下顶紧机构的结构相同，上除尘抽屉和下除尘抽屉的结构相同，上顶紧结构设置在上除尘抽屉的上部，下顶紧机构设置在下除尘抽屉的下部；该装置采用转移辊和粘尘辊除尘，除尘效率高，且采用抽屉式的结构，可以便于更换转移辊和粘尘辊，可以广泛用于工业生产之中。

主权项

1.一种半导体光刻板清洗的除尘装置，其特征在于，该装置包括外壳体、上安装板、上顶紧结构、上除尘抽屉、中除尘滚轮输送抽屉、下除尘抽屉和下顶紧机构，所述的上安装板设置在外壳体的上部，在外壳体上设置有抽屉口，所述的上除尘抽屉、中除尘滚轮输送抽屉和下除尘抽屉分别设置在抽屉口内，上除尘抽屉、中除尘滚轮输送抽屉和下除尘抽屉与外壳体之间分别通过滑轨和滑槽相连接；所述的上顶紧结构与下顶紧机构的结构相同，上除尘抽屉和下除尘抽屉的结构相同，上顶紧结构设置在上除尘抽屉的上部，下顶紧机构设置在下除尘抽屉的下部；所述的上顶紧结构与下顶紧机构分别包括顶紧气缸、气缸安装杆和顶紧条，两根气缸安装杆固定设置在外壳体上，两个顶紧气缸分别固定设置在气缸安装杆的中部，顶紧条分别与两个顶紧气缸的活塞杆相连接，并在顶紧条的两端一侧分别设置有导向杆，导向杆穿设在设置在气缸安装杆的轴套内，顶紧条的两端另一侧分别设置有顶杆；所述的上除尘抽屉和下除尘抽屉分别包括抽屉框体、粘尘辊和可调轴承座，所述的抽屉框体的两端分别设置有两个固定座，固定座上分别设置有两根导向杆，所述的可调轴承座上设置有两个轴孔，可调轴承座通过两个轴孔设置在两根导向杆上，并在导向杆的底部设置有压缩弹簧，压缩弹簧一端与固定座相抵，另一端与可调轴承座相抵，所述的可调轴承座与顶杆相抵，所述的粘尘辊具有两根，粘尘辊设置在对向设置的两个可调轴承座；中除尘滚轮输送抽屉包括抽屉框体、驱动电机和转移辊，在抽屉框体的两侧和中部分别设置滚轮轴，滚轮轴上设置有多个滚轮，在滚轮轴的间隔空隙设置两对转移辊，两对转移辊由上、下两根辊体构成，上、下两根辊体之间设有供光刻板通过的缝隙，上、下两根辊体分别与所述的上除尘抽屉和下下除尘抽屉粘尘辊相贴合接触，滚轮轴和两对转移辊的端部分别设置有皮带轮，皮带轮与驱动电机相传动连接。