[发明专利]支撑薄膜的制作方法、背板和柔性OLED显示装置有效

专利信息
申请号: 201810612783.7 申请日: 2018-06-14
公开(公告)号: CN108847456B 公开(公告)日: 2020-10-27
发明(设计)人: 许杰 申请(专利权)人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56;H01L51/52;H01L27/32
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明提供一种支撑薄膜的制作方法、背板及柔性OLED显示装置,支撑薄膜由化学式为[A2Ti2O7]的化合物材料形成,A为正三价元素,支撑薄膜的制作方法的步骤包括:压合干燥后的化合物材料,得到片状产物;烧结片状产物,得到片状样品;以及将片状样品通过激光脉冲法沉积到第一保护薄膜上制得支撑薄膜。本发明的支撑薄膜的材料为八面体结构可以形成最密堆积,提高支撑薄膜的致密性,从而达到防水的目的;在激光脉冲法中通过沉积工艺可以调节支撑薄膜的厚度,以满足OLED显示装置对支撑薄膜厚度的要求。
搜索关键词: 支撑 薄膜 制作方法 背板 柔性 oled 显示装置
【主权项】:
1.一种支撑薄膜的制作方法,用于柔性OLED显示装置的背板,其特征在于,所述支撑薄膜由化学式为[A2Ti2O7]的化合物材料形成,所述A为正三价元素,所述支撑薄膜的制作方法的步骤包括:S1:获取所述化合物原材料;S2:在设定时间内,球磨所述化合物原材料;S3:干燥球磨后的化合物材料;S4:压合干燥后的所述化合物材料,得到片状产物;S5:烧结所述片状产物,得到片状样品;S6:将所述片状样品通过激光脉冲法沉积到基板上制得所述支撑薄膜。
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