[发明专利]支撑薄膜的制作方法、背板和柔性OLED显示装置有效
申请号: | 201810612783.7 | 申请日: | 2018-06-14 |
公开(公告)号: | CN108847456B | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
发明(设计)人: | 许杰 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/52;H01L27/32 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明提供一种支撑薄膜的制作方法、背板及柔性OLED显示装置,支撑薄膜由化学式为[A2Ti2O7]的化合物材料形成,A为正三价元素,支撑薄膜的制作方法的步骤包括:压合干燥后的化合物材料,得到片状产物;烧结片状产物,得到片状样品;以及将片状样品通过激光脉冲法沉积到第一保护薄膜上制得支撑薄膜。本发明的支撑薄膜的材料为八面体结构可以形成最密堆积,提高支撑薄膜的致密性,从而达到防水的目的;在激光脉冲法中通过沉积工艺可以调节支撑薄膜的厚度,以满足OLED显示装置对支撑薄膜厚度的要求。 | ||
搜索关键词: | 支撑 薄膜 制作方法 背板 柔性 oled 显示装置 | ||
【主权项】:
1.一种支撑薄膜的制作方法,用于柔性OLED显示装置的背板,其特征在于,所述支撑薄膜由化学式为[A2Ti2O7]的化合物材料形成,所述A为正三价元素,所述支撑薄膜的制作方法的步骤包括:S1:获取所述化合物原材料;S2:在设定时间内,球磨所述化合物原材料;S3:干燥球磨后的化合物材料;S4:压合干燥后的所述化合物材料,得到片状产物;S5:烧结所述片状产物,得到片状样品;S6:将所述片状样品通过激光脉冲法沉积到基板上制得所述支撑薄膜。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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