[发明专利]太阳能电池减低反射率的复合膜及其制备方法

摘要

一种太阳能电池减低反射率的复合膜，它包括基材(1)和复合膜层，所述复合膜层从内到外依次包括第一SiN层(2)、第二SiN层(3)、SiON层(4)和SiO2层(5)；第一SiN层(2)的折射率大于等于2.0；所述第二SiN层(3)的折射率小于2.0，且第二SiN层(3)的厚度为60～80nm；所述SiON层(4)的厚度小于等于30nm；所述SiO2层(5)的厚度小于等于20nm；及其制备方法，通过PECVD方式镀膜；在镀第一SiN层(2)和第二SiN层(3)时的压力为10～250mbar，SIN4与NH3的流量比为1∶4～10；在镀SiON层(4)时，SiON由SIN4、N2O和NH3反应生成；在镀SiO2层(5)时，SiO2由SIN4和N2O反应生成；具有减低了镀膜后光反射率，提高了长波和短波吸收，并提升太阳能电池片电池效率，从而有效的降低了单W生产成本的特点。

主权项

1.一种太阳能电池减低反射率的复合膜，其特征在于：它包括基材(1)和复合膜层，所述复合膜层从内到外依次包括第一SiN层(2)、第二SiN层(3)、SiON层(4)和SiO2层(5)；所述第一SiN层(2)与基材(1)表面贴合，且第一SiN层(2)的折射率大于等于2.0；所述第二SiN层(3)的折射率小于2.0，且第二SiN层(3)的厚度为60～80nm；所述SiON层(4)的厚度小于等于30nm；所述SiO2层(5)的厚度小于等于20nm。