[发明专利]一种保护探头的扫描电镜试样台有效
| 申请号： | 201810616807.6 | 申请日： | 2018-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN108896595B | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 刘洪喜;张璐璐;张晓伟;石海;郝轩弘 | 申请（专利权）人： | 昆明理工大学 |
| 主分类号： | G01N23/2204 | 分类号： | G01N23/2204;G01N23/2251 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 650093 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明公开一种保护探头的扫描电镜试样台，包括试样台缓冲装置和试样台底座，试样台底座连接电镜的载物转台，一个以上的试样台缓冲装置设置在试样台底座上；试样台缓冲装置包括法兰、试样爪基座、试样爪、弹簧、套筒、试样爪紧固件，当由于人工操作失误使得试样与探头发生碰撞，试样台缓冲装置会起到缓冲的作用，弹簧会吸收在发生碰撞时的大部分碰撞能量，转换为弹簧的弹性势能，从而避免了出现刚性碰撞而导致探头直接损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 保护 探头 扫描电镜 试样 | ||
【主权项】：
1.一种保护探头的扫描电镜试样台，其特征在于，包括试样台缓冲装置和试样台底座（1），试样台底座（1）连接扫描电镜的载物转台，一个以上的试样台缓冲装置设置在试样台底座（1）上，试样台缓冲装置包括法兰（2）、试样爪基座（3）、试样爪、弹簧（5）、套筒（6）、试样爪紧固件（8），法兰（2）设置在试样台底座（1）上，套筒（6）设置在法兰（2）上，弹簧（5）设置在套筒（6）外部，弹簧（5）的底部设置在法兰（2）上，试样爪基座（3）的侧视图为T字型结构，T字型结构的上部位于弹簧（5）顶部，T字型结构的底部悬空设置在套筒（6）内， T字型结构的顶部开有环形凹槽，试样爪设置在环形凹槽内，试样爪紧固件（8）设置在试样爪基座（3）上并将试样爪固定。
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