[发明专利]一种低浓度标准气体的配气装置及配气方法在审
| 申请号： | 201810617036.2 | 申请日： | 2018-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN108970429A | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 沈飞宙;谢雷;杨雁南;翟志斌 | 申请（专利权）人： | 盛密科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B01F3/02 | 分类号： | B01F3/02 |
| 代理公司： | 北京东正专利代理事务所(普通合伙) 11312 | 代理人： | 张亦华 |
| 地址： | 201807 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低浓度标准气体的配气装置及利用该配气装置的配气方法，配气装置包括气体发生组件和稀释配气组件，气体发生组件包括通过气路连通的主气室、第一气泵、气源室以及在气路中设置的气体传感器，主气室与第一气泵之间连通有第一阀门，气源室通过第二阀门与主气室连通，形成循环气路；稀释配气组件包括进气组件和配气组件。本发明的技术方案利用物质的物理化学特性产生已知浓度的目前气体，可作为一级标准使用，所获标准气体浓度准确性、可靠性高；利用所述循环气路产生标准气可方便地实现气、液分离，可大大降低气源室尺寸，便于恒温控制设计，同时主气室体积可变，可获得较大体积的标准气体。 | ||
| 搜索关键词： | 配气装置 主气室 配气组件 气源室 低浓度标准气体 气体发生组件 标准气体 循环气路 阀门 气泵 稀释 连通 物理化学特性 气体传感器 恒温控制 进气组件 气路连通 体积可变 标准气 气路 | ||
【主权项】：
1.一种低浓度标准气体的配气装置，其特征在于，包括气体发生组件(1)和稀释配气组件，气体发生组件包括通过气路连通的主气室(11)、第一气泵(12)、气源室(13)以及在气路中设置的气体传感器(14)，气源室(13)通过第二阀门(16)与主气室(11)连通，形成循环气路；稀释配气组件包括进气组件(2)和配气组件(3)，进气组件包括通过气路依次连通的过滤器(21)、流量传感器(22)和第二气泵(23)，第二气泵(23)通过第三阀门(24)与主气室(11)连通；配气组件包括通过气路依次连通的定量气室(31)、配气室(32)和第三气泵(33)，定量气室(31)通过第四阀门(34)与主气室(11)连通。
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