[发明专利]太阳能电池片湿氧扩散工艺

摘要

本发明涉及太阳能电池片扩散技术领域，尤其涉及一种太阳能电池片湿氧扩散工艺，采用湿氧氧化，能够提高沉积速率，降低时间，提高硅片氧化膜的均匀性。

主权项

1.一种太阳能电池片湿氧扩散工艺，其特征在于：包括如下步骤：1)进舟：管内温度控制在800℃±10℃，通有5±0.05L/min的氮气，压力值为100±0.2Kpa，时间1120s，进舟速度为800±10mm/min；2)抽真空：管内温度控制在800℃±10℃，无气体通入，真空泵工作，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间300s；3)检漏：管内温度控制在800℃±10℃，无气体通入，真空泵停止工作，保证炉管内压力值为100±0.2Kpa，时间60s；4)干氧氧化：管内温度控制在800℃±10℃，通有1.4±0.05L/min的大氮，1.0±0.05L/min的大氧，保证炉管内压力值为15±0.2Kpa，时间500s；5)一次通源：管内温度控制在800℃±10℃，通有0.8±0.05L/min的大氮,0.2±0.05L/min的大氧，以及0.8±0.05L/min的小氮，其中小氮通过温度在20±1℃的源瓶，将源带出，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间310s；6)一次推结：管内温度控制在810℃±10℃，升温速率为5±1℃/min，通有2±0.05L/min的氮气，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间205s；7)二次通源：管内温度控制在810℃±10℃，通有0.8±0.05L/min的大氮,0.2±0.05L/min的大氧，以及0.8±0.05L/min的小氮，其中小氮通过温度在20±1℃的源瓶，将源带出，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间310s；8)二次推结：管内温度控制在825℃±10℃，升温速率为5±1℃/min，通有2.0±0.05L/min的大氮，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间480s；9)三次通源：管内温度控制在825℃±10℃，通有0.8±0.05L/min的大氮,0.2±0.05L/min的大氧，以及0.8±0.05L/min的小氮，其中小氮通过温度在20±1℃的源瓶，将源带出，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间200s；10)三次推结：管内温度控制在845℃±10℃，升温速率为5±1℃/min，通有2.0±0.05L/min的大氮，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间300s；11)恒温氧化：管内温度控制在845℃±10℃，通有0.5±0.05L/min的大氮，2.0±0.05L/min的小氧，其中小氧通过温度在20±1℃的水瓶，将水带出，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间300s；12)降温氧化：管内温度控制在760℃±10℃，降温速率为6±2℃/min，通有0.5±0.05L/min的大氮，2.0±0.05L/min的小氧，其中小氧通过温度在20±1℃的水瓶，将水带出，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间2000s；13)充气：管内温度控制在760℃±10℃，降温速率为20±5℃/min，通有3±0.05L/min的氮气，保证炉管内压力值为100±0.2Kpa，时间200s；14)出舟：管内温度控制在800℃±10℃，通有2±0.05L/min的氮气，炉管内压力值为100±0.2Kpa，时间1000s，出舟速度为500±10mm/min。