[发明专利]一种双涡旋电场辅助超快激光加工系统及其加工方法

摘要

本发明涉及一种双涡旋电场辅助超快激光加工系统与加工方法。系统包括超快激光器、偏振调制镜片、光束放大器、聚焦镜片、同轴吸气装置、双螺旋电极和五轴位移平台。该方法包含如下步骤：先将工件装夹于固定着双螺旋电极的五轴位移平台上；再电源连接双螺旋电极，通过控制电源电压使双螺旋电极产生0‑105V/m的双涡旋电场；开启超快激光器，激光束经偏振调制、光束放大、反射聚焦后穿过双涡旋电场作用于工件表面，同时在工件上方同轴吸气，将等离子体去除。本发明利用双涡旋电场现对等离子体的运动控制，结合同轴吸气，实现高效、高质量的激光微纳加工及激光打孔。

主权项

1.一种双涡旋电场辅助超快激光加工系统，包括超快激光器、偏振调制镜片、光束放大器、聚焦镜片和五轴位移平台，其特征在于：还包括同轴吸气装置、电源和双螺旋电极，电源通过正极导线与双螺旋电极的正螺旋电极相连，通过负极导线与双螺旋电极的负螺旋电极相连，同轴吸气装置位于工件上方。