[发明专利]一种气相沉积设备

摘要

本发明公开了一种气相沉积设备，其包括气体流入箱等，真空箱位于气体流入箱的一侧，等离子气体存储箱位于真空箱的一侧，工作台固定在气体流入箱、真空箱、等离子气体存储箱上，输送管道连接等离子气体存储箱，多个高温沉积箱都固定在高温沉积箱和高温成型箱的两侧，多个冷却管都固定在高温沉积箱和高温成型箱的顶部，多个显示屏都固定在高温沉积箱和高温成型箱的一侧。本发明通过高温有效的完成了气相沉积，提高了沉积的速度和效率，成型的速度也得到了提高，让气相的沉积变得更加方便，可以有效的降低温度，保护沉积设备更加安全，提高了沉积设备的使用寿命。

主权项

1.一种气相沉积设备，其特征在于，其包括气体流入箱、真空箱、等离子气体存储箱、输送管道、流动管道、工作台、支撑架、沉积设备，真空箱位于气体流入箱的一侧，等离子气体存储箱位于真空箱的一侧，工作台固定在气体流入箱、真空箱、等离子气体存储箱上，输送管道连接等离子气体存储箱，流动管道连接输送管道与沉积设备，多个支撑架固定在工作台上，沉积设备位于多个支撑架之间，多个支撑架都连接流动管道，其中：沉积设备包括高温沉积箱、高温成型箱、散热片、冷却管、显示屏、保护涂层，高温成型箱位于高温沉积箱的一侧，多个高温沉积箱都固定在高温沉积箱和高温成型箱的两侧，多个冷却管都固定在高温沉积箱和高温成型箱的顶部，多个显示屏都固定在高温沉积箱和高温成型箱的一侧。