[发明专利]一种超表面圆偏振光检测元件及其制备方法有效
| 申请号： | 201810627503.X | 申请日： | 2018-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN108801461B | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 胡敬佩;朱玲琳;张方;曾爱军;黄惠杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01J3/447 | 分类号： | G01J3/447;G01J3/02 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种超表面圆偏振光检测元件，由透光基底和设置在该透光基底上的阵列的旋转对称手性介质结构单元构成，所述旋转对称手性介质结构由两对介质臂交叉构成，所述的旋转对称手性介质结构彼此之间有空隙。该元件可通过电子束曝光和显影技术以及反应离子束刻蚀等工艺流程制得。本发明具有很强的圆偏振二色性，可实现圆偏振态区分，其圆偏振二色性在1.75μm波段处最高可达96.8％，同时其性能优异，在光学传感系统、先进的纳米光子器件以及集成光学系统中，具有很大的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 偏振光 检测 元件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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