[发明专利]一种基于纸上原位生长银电极制作柔性传感器的方法

摘要

本发明公开了一种基于纸上原位生长银电极制作柔性传感器的方法，本发明采用在纸质基的基础上，通过PAA聚酰亚胺甩涂，获得固化PI纸质基，并通过银氨法获得银层纸质基，再通过光刻腐蚀法获得银电极图案纸质基，用Ecoflex溶液旋涂后获得传感器样片，将两片传感器样片的介质层相向对叠，最终制备成柔性压力传感器。本发明具有结构简单、制备方便、感知度强、柔性好及动态响应灵敏度高的优点。

主权项

1.一种基于纸上原位生长银电极制作柔性传感器的方法，其特征在于，该方法包括以下具体步骤：步骤1：选择玻璃载片（1），清洗并烘干玻璃载片（1），选择纸质衬底（11）平整的粘附在玻璃载片（1）的一个面上；步骤2：选用PAA聚酰亚胺，浓度为15%；加注在纸质衬底（11）上，用甩胶机旋涂，获得旋涂PAA纸质基（12）；步骤3：将旋涂PAA的纸质基（12）置于加热台上，加热温度：60～100℃；加热时间：60min；恢复至室温，获得固化PI纸质基（13）；步骤4：用银氨法获得银层纸质基：4.1：调配硝酸银溶液，浓度为：0.02～0.03mol/L；4.2：用滴定法往硝酸银溶液内滴加氨水，使硝酸银溶液从浑浊变至澄清，得到银氨溶液；4.3：将步骤3所获得的固化PI纸质基（13）浸入银氨溶液中，浓度为：0.02mol/L；浸泡时间：30 min；4.4：将浸泡后的固化PI纸质基（13）用去离子水冲洗；将冲洗后的固化PI纸质基（13）浸入过氧化氢溶液中析出银层，过氧化氢溶液浓度为：0.32～0.4mmol／L；浸泡时间：30 min；获得银层纸质基（14）；步骤5：在银层纸质基（14）上贴附一层蓝膜，并在蓝膜上设置掩膜版，采用UV法实施光刻，光刻时间，1.5 min；获得光刻蓝膜纸质基（15）；步骤6：将光刻蓝膜纸质基（15）置入氢氧化钠溶液，氢氧化钠溶液的pH值为（12）；未被曝光的感光蓝膜被剥离掉，获得感光蓝膜纸质基（16）；步骤7：将感光蓝膜纸质基（16）放入过氧化氢银刻蚀剂中，过氧化氢的浓度为15%，将感光蓝膜纸质基（16）的银层刻蚀掉，获得银电极图案纸质基（17）；步骤8：清理银电极图案，用丙酮冲洗银电极图案纸质基（17）；步骤:9：用Ecoflex脂肪‑芳香共聚酯溶液旋涂在银电极图案纸质基（17）上，在银电极图案纸质基（17）上形成介质层（171），获得传感器样片（18）；步骤10：将两片传感器样片（18）的介质层（171）相向对叠，并将玻璃载片（1）剥离，用PDMS聚二甲基硅氧烷封装，然后置于加热台上加热固化，加热温度：70～90℃；加热时间：60 min；获得柔性压力传感器（19）。