[发明专利]一种用于超高压声速测量的侧向稀疏靶制备方法

摘要

本发明公开了一种用于超高压声速测量的侧向稀疏靶制备方法，该制备方法通过把非常薄的样品叠加成足够的厚度，并胶合成整体，然后对该整体侧面进行光学加工和抛光，最后将该抛光后的整体进行处理分片使用，能够实现微米级厚度的薄片样品的侧面(沿厚度方向)抛光处理，且误差小，避免现有技术对薄片样品直接进行加工和抛光，造成样品侧面与其上下两平面的交线处产生较大缺陷，无法满足超高压声速测量的实验要求。

主权项

1.一种用于超高压声速测量的侧向稀疏靶制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一，将透明材料加工成n片厚度为d的薄片样品；步骤二，将n片厚度为d的薄片样品均初步加工成比样品设计值大1～2倍的尺寸；步骤三，将上述步骤二中经过初步加工的n片薄片样品叠加封装成为整体；步骤四，将封装好的n片薄片样品整体从中间且垂直样品平面的方向切开；步骤五，对上述步骤四的从中间且垂直样品平面的方向切开的侧面进行研磨、抛光加工，并检测该侧面是否符合要求；步骤六，如果该侧面符合要求，则对步骤五中进行加工后的n片薄片样品整体进行分片处理；反之则重复步骤五；步骤七，取出n片薄片样品整体中靠中间位置的薄片样品，对其进行清洗、晾干操作；步骤八，对步骤七中进行清洗、晾干后的薄片样品进行检测，如果合格则进行后续加工成为侧向稀疏靶，用于超高压声速测量。