[发明专利]一种基于PECVD的燃料电池金属极板碳基涂层制备装置

摘要

本发明公开一种基于PECVD的燃料电池金属极板碳基涂层制备装置，包括：反应腔室，其内部具有腔体，腔体内的顶部设有多个射频电极，周侧设有多个加热器，底部设有用于传输工件架的传输导轨；进气系统，包括多个气路和与对应气路连通的多个气孔，气孔均匀分布在各个射频电极的四周；抽气系统，包括抽气机构；工件架，其包括至少一个用于固定安装待处理金属极板的极板挂具。本发明提高了涂层沉积速率、设备产能，降低了制备成本；射频电极及进气方式的布置提高涂层在金属极板表面沉积的均匀性，有利于保证涂层性能稳定性。本发明制备燃料电池金属双极板表面涂层速率快、产能高、质量好，对加快燃料电池产业化进程具有重要意义。

主权项

1.一种基于PECVD的燃料电池金属极板碳基涂层制备装置，其特征在于，包括：反应腔室，其内部具有腔体，所述腔体内的顶部设有多个射频电极，腔体内的周侧设有多个加热器，腔体内的底部设有用于传输工件架的传输导轨；进气系统，包括多个气路和与对应气路连通的多个气孔，所述多个气路布置在所述腔体内的顶部，多个气路内通反应气体，所述多个气孔均匀分布在各个射频电极的四周；抽气系统，包括抽气机构，所述抽气机构设置于反应腔室的底部，并与腔体连通；以及工件架，其包括至少一个用于固定安装待处理金属极板的极板挂具。