[发明专利]一种二维材料范德瓦尔异质结的精确构建方法

摘要

本发明公开了一种二维材料范德瓦尔异质结的精确构建方法，包括如下步骤：S1：在p型二维材料氧化硅衬底上旋涂聚苯乙烯甲苯溶液；S2：干燥：将经步骤S1旋涂后的衬底干燥；S3：PS片脱离：配制KOH溶液，将经步骤S2处理后的衬底放置于KOH溶液，衬底中的二氧化硅层被KOH刻蚀后，带着p型二维材料氧化硅的聚苯乙烯甲苯膜从衬底中脱离，浮于溶液表面；S4：对版操作：将步骤S3脱离的聚苯乙烯甲苯膜和n型二维材料衬底精确对版，在显微镜的辅助观察下将目标二维材料范德瓦尔异质结精确搭建成功；S5：固化；S6：去胶。本发明具有所需设备和制备工艺简单精确、操作时间短，可直接得到接触良好、纯度较高、重叠区域大的二维材料范德瓦尔异质结等优点。

主权项

1.一种二维材料范德瓦尔异质结的精确构建方法，其特征在于：包括如下步骤：S1：在p型二维材料氧化硅衬底上旋涂聚苯乙烯甲苯溶液；S2：干燥：将经步骤S1旋涂后的衬底干燥；S3：PS片脱离：配制KOH溶液，将经步骤S2处理后的衬底放置于KOH溶液，衬底中的二氧化硅层被KOH刻蚀后，带着p型二维材料氧化硅的聚苯乙烯甲苯膜从衬底中脱离，浮于溶液表面；S4：对版操作：将步骤S3脱离的聚苯乙烯甲苯膜和n型二维材料衬底精确对版，在显微镜的辅助观察下将目标二维材料范德瓦尔异质结精确搭建成功；S5：固化：将步骤S4搭建成功后的异质结衬底置于加热板中固化；S6：去胶：将步骤S5固化后的异质结衬底置于甲苯中浸泡，将聚苯乙烯甲苯胶去掉，得到搭建成功的二维材料范德瓦尔异质结。