[发明专利]一种石英晶体微天平湿度传感器的制备方法及产品有效
| 申请号： | 201810633969.0 | 申请日： | 2018-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN108982277B | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 廖广兰;林建斌;谭先华;史铁林;汤自荣 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01N5/02 | 分类号： | G01N5/02 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 张彩锦;曹葆青 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： |
本发明属于湿度传感器技术领域，并具体公开了一种石英晶体微天平湿度传感器的制备方法及产品，所述方法包括，S1、种子层制备：在石英晶体微天平上沉积一层Cu种子层，用于后续生长超亲水纳米线作为湿敏层材料；S2、湿敏层制备：将沉积有所述Cu种子层的石英晶体微天平水平置于NaOH和(NH |
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| 搜索关键词： | 一种 石英 晶体 天平 湿度 传感器 制备 方法 产品 | ||
【主权项】：
1.一种石英晶体微天平湿度传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、种子层制备：在石英晶体微天平上沉积一层Cu种子层，用于后续生长超亲水纳米线作为湿敏层材料；S2、湿敏层制备：将沉积有所述Cu种子层的石英晶体微天平置于NaOH和(NH4)2S2O4的混合溶液中，以在所述Cu种子层上生长超亲水Cu(OH)2纳米线，从而获得石英晶体微天平湿度传感器件。
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