[发明专利]检查气体供给系统的方法

摘要

本发明提供一种检查气体供给系统的方法。一实施方式中，在基板处理装置的腔室经由气体供给管路及气体导入口连接有气化器。在气体供给管路连接有排气装置。基板处理装置具备获取气体供给管路的压力的测定值的压力传感器。一实施方式的方法包括：从气化器经由气体供给管路向腔室供给处理气体的工序；及在已停止向气体供给管路供给处理气体的状态下，对通过压力传感器获取的测定值的变化进行监控的工序。

主权项

1.一种检查基板处理装置的气体供给系统的方法，其中，所述基板处理装置具备：腔室主体，提供腔室；及所述气体供给系统，以向所述腔室供给气体的方式构成，所述气体供给系统具有气体供给单元，所述气体供给单元具有：气化器，以通过使液体气化来产生处理气体的方式构成；一级阀，与所述气化器连接；流量控制器，设置于所述一级阀的二次侧且与该一级阀连接；二级阀，设置于所述流量控制器的二次侧且与所述流量控制器连接；及配管，提供连接用于将所述处理气体导入到所述腔室的气体导入口与所述二级阀的气体供给管路，所述基板处理装置还具备：压力传感器，以获取所述气体供给管路的压力的测定值的方式构成；及排气装置，与所述气体供给管路连接，该方法包括：停止从所述气化器向所述气体供给管路供给所述处理气体的工序；及在停止从所述气化器向所述气体供给管路供给所述处理气体的期间对通过所述压力传感器获取的所述测定值的变化进行监控的工序，对所述测定值的变化进行监控的所述工序包括：在停止从所述气化器向所述气体供给管路供给所述处理气体的期间且在基于所述排气装置的所述气体供给管路的排气期间获取通过所述压力传感器获取的所述测定值的减少速度的步骤；或在停止从所述气化器向所述气体供给管路供给所述处理气体的期间，所述气体供给管路不通过所述排气装置进行排气的状态下，检查通过所述压力传感器获取的所述测定值是否上升的步骤。