[发明专利]一种自引阻尼真空隔膜阀

摘要

一种自引阻尼真空隔膜阀，属于真空隔膜阀技术领域。包括隔膜腔、上膜腔、中膜腔，上壳体顶部与大气压或真空系统连接；中壳体底部设置真空通道、阻尼通道和至少一条大气通道，阻尼通道上端出口覆盖挡接设置阻尼块，阻尼块将中膜片压紧在中壳体底部内壁，中膜片与大气通道端口覆盖挡接配合，阻尼块上设置阻尼孔与阻尼通道连通，中壳体中间设置连杆，连杆顶部与上膜片固定连接，连杆与阻尼块中部通孔穿接配合，连杆底部固定设置阀片，阀片与真空通道出口覆盖挡接配合，真空通道另一端连接止回阀，止回阀另一端连接真空端。上述一种自引阻尼真空隔膜阀，开启及关闭具有延时性，保证抽的彻底干净，使用稳定、可靠。

主权项

1.一种自引阻尼真空隔膜阀，由阀体（1）及隔膜片（2）构成工作室，工作室一端为真空端（6），另一端为吸入端（27），其特征在于隔膜片（2）上方设置中壳体（10）构成隔膜腔（26），中壳体（10）上方设置上壳体（14），中壳体（10）、上壳体（14）之间配合设置上膜片（19）构成上膜腔（18）、中膜腔（20），上壳体（14）顶部设置接头（16），接头（16）与大气压或真空系统连接；中壳体（10）底部壳体上设置真空通道（9）、阻尼通道（25）和至少一条大气通道（22），阻尼通道（25）上端出口覆盖挡接设置阻尼块（23），阻尼块（23）将中膜片（21）压紧在中壳体（10）底部内壁，中膜片（21）与大气通道（22）端口覆盖挡接配合，阻尼块（23）上设置阻尼孔（24）与阻尼通道（25）连通，中壳体（10）中间设置连杆（17），连杆（17）顶部与上膜片（19）固定连接，连杆（17）与阻尼块（23）中部通孔穿接配合，连杆（17）底部固定设置阀片（11），阀片（11）与真空通道（9）出口覆盖挡接配合，真空通道（9）另一端连接止回阀（8），止回阀（8）另一端连接工作室的真空端（6）。/n