[发明专利]一种梯度结构的离子型压力传感器及其制备工艺有效

专利信息
申请号: 201810638873.3 申请日: 2018-06-20
公开(公告)号: CN108801509B 公开(公告)日: 2020-10-27
发明(设计)人: 朱子才;何西铭;罗斌;汝杰;卞长生 申请(专利权)人: 西安交通大学
主分类号: G01L1/16 分类号: G01L1/16;G01L9/08;H01L41/22;H01L41/047;H01L41/253
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 徐文权
地址: 710049 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明提供一种梯度结构的离子型压力传感器及其制备工艺,所述的传感器包括上表面面积小于下表面面积且横截面面积从上向下呈梯度变化的离子聚合物,分别设置在离子聚合物上下表面的电极箔片,以及设置在电极箔片和离子聚合物之间的引线。制备工艺包括模具制造、离子聚合物成型、离子交换和传感器电极制作。通过上下表面差异化设置以及沿厚度方向的梯度变化,使得传感电压最大可达75mV,远大于传统产生的1~10mV;响应速度快,响应与激励之间无相位差;且可重复性高,在同一压力作用下,传感电压幅值波动较小,具有很强的实用性。
搜索关键词: 一种 梯度 结构 离子 压力传感器 及其 制备 工艺
【主权项】:
1.一种梯度结构的离子型压力传感器,其特征在于,包括上表面面积小于下表面面积且横截面面积从上向下呈梯度变化的离子聚合物(3),分别设置在离子聚合物(3)上下表面的电极箔片(1),以及设置在电极箔片(1)和离子聚合物(3)之间的引线(2)。
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