[发明专利]一种光学调焦机构中调焦距离测量装置及测量方法有效
| 申请号： | 201810639193.3 | 申请日： | 2018-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN108680093B | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 张洪伟;陈卫宁;史魁;杨洪涛 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 陈广民 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明具体涉及一种光学调焦机构中调焦距离测量装置及测量方法，其解决了小型化、轻量化精密测量系统无法实现高精密测量大位移的问题。一种光学调焦机构中调焦距离测量装置，包括传感器组件；传感器组件包括电涡流传感器和菱形被测件；调焦移动镜框通过导轨与调焦基座相连，其中调焦移动镜框可沿导轨在光轴方向做直线往复运动；驱动组件设置调焦基座上；驱动组件驱动调焦移动镜框沿导轨在光轴方向做直线往复运动；菱形被测件固定在调焦移动镜框上，电涡流传感器是通过测量距菱形被测件的移动距离来间接得到调焦移动镜框沿光轴方向的位移距离。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 调焦 机构 距离 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种光学调焦机构中调焦距离测量装置，所述光学调焦机构包括调焦基座(1)、调焦移动镜框(2)和驱动组件(3)；调焦移动镜框(2)通过导轨(18)与调焦基座(1)相连，其中调焦移动镜框(2)可沿导轨(18)在光轴方向做直线往复运动；驱动组件(3)设置在调焦基座(1)上；驱动组件(3)驱动调焦移动镜框(2)沿导轨(18)在光轴方向做直线往复运动；其特征在于：还包括传感器组件；传感器组件包括电涡流传感器(4)和菱形被测件(5)；电涡流传感器(4)固定在调焦基座(1)上，菱形被测件(5)固定在调焦移动镜框(2)上，电涡流传感器(4)是通过测量距菱形被测件(5)的移动距离来间接得到调焦移动镜框(2)沿光轴方向的位移距离。
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