[发明专利]柔性压电式压力传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了柔性压电式压力传感器及其制备方法。该制备方法包括：配置前驱体溶液，基于静电纺丝工艺制备锆钛酸铅压电陶瓷纳米纤维；以柔性基底层为基底，以氧化铟锡为原材料，基于磁控溅射工艺、紫外光刻工艺及湿法腐蚀工艺在柔性基底层的一面上制备叉指电极层；令纳米纤维的一面与叉指电极层的矩形叉指表面接触，在纳米纤维的另一面上制作掩蔽层，连接电极引线及叉指电极层的焊盘，制得柔性压电式压力传感器。本发明的柔性压电式压力传感器及制备方法，通过采用叉指电极层及锆钛酸铅压电陶瓷纳米纤维层制备压力传感器，提高了柔性压电式压力传感器的灵敏度。

主权项

1.一种柔性压电式压力传感器，其特征在于，包括：所述柔性压电式压力传感器自下到上依次为柔性基底层、叉指电极层、锆钛酸铅压电陶瓷纳米纤维层及掩蔽层；所述叉指电极层包括矩形叉指、叉指连接线及焊盘；所述矩形叉指的一端通过所述叉指连接线连接所述焊盘；所述锆钛酸铅压电陶瓷纳米纤维层固定于所述叉指电极层上，所述锆钛酸铅压电陶瓷纳米纤维层覆盖所述矩形叉指。