[发明专利]一种用于压电力显微镜的微型偏振光加载装置

摘要

本发明涉及一种用于压电力显微镜的微型偏振光加载装置，属于分析仪器技术领域。该装置由起偏模块和检偏模块组成。起偏模块包括反光镜、旋转轴、起偏镜、载物台和柔性导光束等。反光镜、下基座与旋转轴均与蓝宝石基片粘合固定在一起。起偏镜与带有刻度上基座粘合固定在一起。通过旋转上基座来调节偏振光角度。带有观察孔的载物台用于承载试样，且保证偏振光通路。检偏模块包括检偏镜、下套筒、上套筒和防滑套。本发明偏振光加载装置结构简单，造价低廉，无振动噪声，可直接替换压电力显微镜原有载物台使用，不会对压电力显微镜的测量精度造成影响。配合压电力显微镜现有的反射光学显微系统，能够实现正交偏振光显微与压电力显微的原位观测。

主权项

1.一种与压电力显微镜配套的微型偏振光加载装置，其特征在于，该偏振光加载装置由起偏模块和检偏模块组成，所述的起偏模块和检偏模块处于同一偏振光通路上；所述的起偏模块由蓝宝石基片、反光镜、下基座、旋转轴、下防滑套、上基座、起偏镜、载物台和柔性导光束组成，所述的载物台固定在蓝宝石基片上，蓝宝石基片、下基座、旋转轴、下防滑套、上基座和起偏镜同轴安装，并置于载物台下，载物台的上表面开有带有方孔，以形成起偏模块和检偏模块之间的偏振光通路；所述的旋转轴先后插入上基座和下基座内，旋转轴的底部和下基座的底部分别与蓝宝石基片粘合在一起，所述的下防滑套套在上基座上；所述的起偏镜粘合在上基座的上表面，上基座的下部带有刻度，根据该刻度旋转上基座，以调节起偏镜中偏振光的角度；所述的旋转轴、下基座和载物台在同一侧的相同位置各开有侧孔，所述的柔性导光束穿过侧孔中，柔性导光束与偏振光加载装置外部的亮度可调冷光源相连，为偏振光加载装置提供光源；所述的反光镜与蓝宝石基片呈45°角相对固定，保证反光镜的反射光垂直入射到检偏模块中的起偏镜；所述的检偏模块由检偏镜、下套筒、上套筒和上防滑套组成，所述的检偏镜、下套筒、上套筒和上防滑套同轴安装，所述的检偏镜固定在下套筒的下部，上套筒套在下套筒的上部，上套筒与压电力显微镜的反射光学观察系统相连，实现观测图像的处理，下套筒的下部带有刻度，上防滑套置于下套筒上部。