[发明专利]抗刮疏水层镀制于金属表面的方法在审
| 申请号： | 201810641212.6 | 申请日： | 2018-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN110629204A | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 林永森 | 申请（专利权）人： | 逢甲大学 |
| 主分类号： | C23C16/513 | 分类号： | C23C16/513;C23C16/02 |
| 代理公司： | 11335 北京汇信合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 翟国明 |
| 地址： | 中国台湾台*** | 国省代码： | 中国台湾;TW |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抗刮疏水层镀制于金属表面的方法，其步骤包含：电浆表面预处理：将一金属表面以电浆进行表面预处理；该预处理使用的该电浆以氢气≧0.1sccm、等离子体放电频率≧100kHz、功率≧10watts以及该金属表面温度≦180℃进行，进一步地可包含氩气≧0sccm；以及抗刮疏水层沉积：将电浆预处理后的该金属表面，以电浆形式将该抗刮疏水层沉积于该金属表面，该抗刮疏水层厚度较佳≧100nm；沉积使用的该电浆以氩气及/或氮气≧0sccm、含碳硅氧化合物蒸汽≧0.1sccm、等离子体放电频率≧100kHz、功率≧10watts(瓦特)以及该金属表面M的温度≦180℃进行。 | ||
| 搜索关键词： | 金属表面 电浆 疏水层 抗刮 沉积 等离子体放电 表面预处理 氩气 预处理 氮气 电浆预处理 氧化合物 氢气 含碳硅 镀制 蒸汽 | ||
【主权项】：
1.一种抗刮疏水层镀制于金属表面的方法，其特征在于，其步骤包含：/n电浆表面预处理：将一金属表面以电浆进行表面预处理；该预处理使用的该电浆以氢气≧0.1sccm、等离子体放电频率≧100kHz、功率≧10watts以及该金属表面温度≦180℃进行；以及/n抗刮疏水层沉积：将电浆预处理后的该金属表面，以电浆形式将该抗刮疏水层沉积于该金属表面，该抗刮疏水层厚度≧100nm；沉积使用的该电浆以氩气及/或氮气≧0sccm、含碳硅氧化合物蒸汽≧0.1sccm、等离子体放电频率≧100kHz、功率≧10watts以及该金属表面M的温度≦180℃进行。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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