[发明专利]喷嘴板、液体喷射头、液体喷射装置及喷嘴板的制造方法有效
| 申请号： | 201810644986.4 | 申请日： | 2018-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN109109467B | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 外村修;铃木聪 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;苏萌萌 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种使耐久性和防液性同时实现的喷嘴板。喷嘴板(20)为设置有多个喷嘴开口(21)的喷嘴板(20)，在喷嘴板(20)的基材(硅基板(22))上设置有DLC膜(24)，DLC膜(24)含有氟，DLC膜(24)中的氟浓度沿着从DLC膜(24)的表面朝向硅基板(22)的方向而降低，与DLC膜(24)表面(平坦部(C)的表面)的氟浓度相比，沿着喷嘴开口(21)的区域(B)的氟浓度较低。 | ||
| 搜索关键词： | 喷嘴 液体 喷射 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种喷嘴板，其特征在于，设置有多个喷嘴开口，在所述喷嘴板的基材上设置有类金刚石碳膜，所述类金刚石碳膜含有氟，所述类金刚石碳膜中的氟浓度沿着从所述类金刚石碳膜的表面朝向所述基材的方向而降低，与所述类金刚石碳膜表面的氟浓度相比，沿着所述喷嘴开口的区域的氟浓度较低。
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