[发明专利]一种石墨烯等离激元气体传感器在审
| 申请号： | 201810644987.9 | 申请日： | 2018-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN108593585A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 戴庆;杨晓霞;胡海;郭相东;胡德波 | 申请（专利权）人： | 国家纳米科学中心 |
| 主分类号： | G01N21/3504 | 分类号： | G01N21/3504 |
| 代理公司： | 北京律恒立业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11416 | 代理人： | 庞立岩;顾珊 |
| 地址： | 100190 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石墨烯等离激元气体传感器，所述传感器自下而上依次包括基底，电介质层，石墨烯层，微腔，和盖板。其中在所述盖板分别设置与微腔连通的进样通道和出样通道，本发明石墨烯层上方是气体微腔，石墨烯等离激元可与气体分子相互作用，从而获得等离激元增强的气体红外光谱，实现气体种类的指认，同时本发明可以探测极微量的气体分子，其等离激元波长在中红外波段(共振频率400‑3000波数)，所述传感器可重复使用、可集成。 | ||
| 搜索关键词： | 等离激元 石墨烯 微腔 气体传感器 气体分子 石墨烯层 盖板 传感器 中红外波段 出样通道 电介质层 共振频率 红外光谱 进样通道 可集成 可重复 探测极 波长 波数 基底 连通 | ||
【主权项】：
1.一种石墨烯等离激元气体传感器，包括盖板和石墨烯等离激元器件，其中所述石墨烯等离激元器件，自下而上依次包括基底，电介质层，石墨烯层，微腔，其中所述石墨烯层两端分别设置为金属电极；其中在所述盖板分别设置与微腔连通的进样通道和出样通道；所述石墨烯层为周期性纳米结构，所述周期性纳米结构包含多个连续纵剖面为台阶状的结构；所述盖板置于所述石墨烯等离激元器件上方。
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