[发明专利]一种使用磨料制作三维薄膜电极的方法有效
申请号: | 201810645068.3 | 申请日: | 2018-06-21 |
公开(公告)号: | CN108986986B | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 周阳辛;臧孝贤;王超;骆周扬;李卓斌 | 申请(专利权)人: | 浙江浙能技术研究院有限公司 |
主分类号: | H01B13/00 | 分类号: | H01B13/00;C01B32/16;C01B32/184 |
代理公司: | 杭州九洲专利事务所有限公司 33101 | 代理人: | 张羽振 |
地址: | 311121 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及薄膜电极制造领域,特别是一种使用磨料制作三维薄膜电极的方法。针对现有三维薄膜电极表层的薄膜电极层变形加工麻烦、变形效果难控制以及制造周期长效率低等缺陷,本发明提供一种使用磨料制作三维薄膜电极的方法,将固态磨料颗粒放置于薄膜电极表层进行磨压,所述磨压是对固态磨料自上而下施压使其部分嵌入薄膜电极表层让薄膜电极表层变形产生压痕,所述压痕在薄膜电极表层上形成相应高低不平的三维起伏,然后卸压并移除固态磨料后制得三维薄膜电极,所述薄膜电极由基底层和设于其上的薄膜电极层组成,且薄膜电极层为薄膜电极表层。本发明所述方法制作三维薄膜电极表层形变加工操作简单、变形效果易控制,而且制造周期短、生产效率高。 | ||
搜索关键词: | 一种 使用 磨料 制作 三维 薄膜 电极 方法 | ||
【主权项】:
1.一种使用磨料制作三维薄膜电极的方法,其特征是将固态磨料(3)颗粒放置于薄膜电极表层进行磨压,所述磨压是对固态磨料(3)自上而下施压使其部分嵌入薄膜电极表层让薄膜电极表层变形产生压痕,所述压痕在薄膜电极表层上形成相应高低不平的三维起伏,然后卸压并移除固态磨料(3)后制得三维薄膜电极,所述薄膜电极由基底层(1)和设于其上的薄膜电极层(2)组成,且薄膜电极层(2)为薄膜电极表层。
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