[发明专利]基于固体碳源的二维碳纳米材料制备方法和装置有效
| 申请号： | 201810645355.4 | 申请日： | 2018-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN109023290B | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 傅文杰;郑伟 | 申请（专利权）人： | 成都溢杰科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/26 | 分类号： | C23C16/26;C23C16/513;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 成都惠迪专利事务所(普通合伙) 51215 | 代理人： | 刘勋 |
| 地址： | 610000 四川省成都市高*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 基于固体碳源的二维碳纳米材料制备方法和装置，涉及碳纳米材料技术。本发明的方法包括下述步骤：1)在无碳气体环境中，利用电磁波场的能量，生成等离子体；2)在电磁场的作用下，等离子体产生的电子和离子轰击固态碳源，形成碳元素微粒；3)碳元素微粒在加热的基底上沉积，得到二维碳纳米材料。本发明具有降低生产成本提高生长率的显著优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 固体 碳源 二维 纳米 材料 制备 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.基于固体碳源的二维碳纳米材料制备方法，其特征在于，包括下述步骤：1)在无碳气体环境中，利用电磁波场的能量，生成等离子体；2)在电磁场的作用下，等离子体产生的电子和离子轰击固态碳源，形成碳元素微粒；3)碳元素微粒在加热的基底上沉积，得到二维碳纳米材料。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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