[发明专利]一种X光宽带选能器件及其制作方法有效
| 申请号： | 201810647471.X | 申请日： | 2018-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN108877961B | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 袁铮;曹柱荣;牛高;黎宇坤;邓克立;王强强;邓博;陈韬 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G21B1/23 | 分类号： | G21B1/23;B82Y20/00;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人： | 翟长明;韩志英 |
| 地址： | 621999 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种X光宽带选能器件，该选能器件包括纳米柱阵列、薄金属层和支撑膜；纳米柱阵列制作在薄金属层的上表面，薄金属层的下表面粘贴支撑膜。该选能器件具有微元尺寸小、选能精度高的优点，可应用于空间分辨几个微米的成像诊断设备，实现带谱成像诊断。本发明还公开了一种X光宽带选能器件的制作方法，该方法利用X射线光刻技术在聚碳酸酯材料上打孔，再利用电化学沉积的方式在孔洞里生长纳米柱，可形成柱体垂直度高、侧壁粗糙度好的纳米柱；还可根据待选能段特征，制作任意高深宽比的正方形纳米柱阵列，通过灵活设计纳米柱的柱高、薄金属层的材料与厚度，以及X射线的掠入射角度可以实现软X射线范围内的任意能段范围的带通选能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 宽带 器件 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种X光宽带选能器件，其特征在于：所述的选能器件包括纳米柱阵列（1）、薄金属层（2）和支撑膜（3）；所述的纳米柱阵列（1）为阵列的正方形金柱体；薄金属层（2）为金属铝或金属银的金属膜；所述的纳米柱阵列（1）制作在薄金属层（2）的上表面，薄金属层（2）的下表面粘贴支撑膜（3）。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心，未经中国工程物理研究院激光聚变研究中心许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810647471.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
