[发明专利]一种平面磁控溅射阴极在审
| 申请号： | 201810647610.9 | 申请日： | 2018-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN108588663A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 | 申请（专利权）人： | 广东腾胜真空技术工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 官国鹏 |
| 地址： | 526060 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种平面磁控溅射阴极，包括阳极罩，设置在阳极罩内部的靶体，移动式设置在靶体内部的磁轭板，安装在磁轭板上的多个磁钢，安装在靶体上的靶材；靶体的上端设有凹槽，靶材位于靶体上端的凹槽内，阳极罩的上端设有敞口区域，从俯视方向上看，阳极罩的敞口区域包围着靶材。本发明的平面磁控溅射阴极的靶材利用率高，属于平面磁控溅射阴极的技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 平面磁控溅射阴极 阳极罩 靶体 上端 靶材 敞口区域 磁轭板 靶材利用率 移动式设置 体内部 磁钢 俯视 包围 | ||
【主权项】：
1.一种平面磁控溅射阴极，其特征在于：包括阳极罩，设置在阳极罩内部的靶体，移动式设置在靶体内部的磁轭板，安装在磁轭板上的多个磁钢，安装在靶体上的靶材；靶体的上端设有凹槽，靶材位于靶体上端的凹槽内，阳极罩的上端设有敞口区域，从俯视方向上看，阳极罩的敞口区域包围着靶材。
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