[发明专利]基于自混合干涉的高精度振幅实时测量装置和方法

摘要

本发明公开了一种基于自混合干涉的高精度振幅实时测量装置，包括激光光源、分束镜、光电探测器、反射镜、信号处理单元、数据处理显示单元及被测物，所述激光光源、分束镜、光电探测器、被测物及反射镜依次光路连接，所述信号处理单元的输入端与所述光电探测器相连，其输出端与所述数据处理单元相连。本发明还公开了一种基于自混合干涉的高精度实时振幅测量方法。本发明无需传统激光干涉仪的参考臂，其单臂光路具有易准直且减小系统对外界的噪声敏感度。采用自混合干涉原理对激光光源相干性无特定要求，激光器选择自由度大。同时，装置的增益参数可控，可测的最小振幅值可达纳米级；在频域获取信号频谱特征值，无需数条纹，易实现宽范围实时测量。

主权项

1.一种基于自混合干涉的高精度振幅测量装置，其特征在于：包括激光光源、分束镜、光电探测器、反射镜、被测物、信号处理单元及数据处理显示单元；所述激光光源、分束镜、被测物及反射镜依次光路连接；所述光电探测器、信号处理单元及数据处理显示单元依次电路连接；所述分束镜将所述激光光源发出的激光分成两束，其中一束照射在所述被测物表面，经所述被测物反射后再经所述反射镜返回所述激光光源的内腔中以发生激光自混合干涉；另一束输入至所述光电探测器，所述光电探测器检测所述激光光源的输出功率，获得对应的信号；所述信号处理单元对信号进行处理后输送至所述数据处理单元；所述数据处理显示单元对信号进行计算分析，获得被测物的振幅。