[发明专利]谐振微陀螺及其制备方法在审
| 申请号： | 201810651367.8 | 申请日： | 2018-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN108871305A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 张卫平;谷留涛;刘朝阳;李敏阳;田梦雅;崔峰;张钰莹;成宇翔;赵万良;刘瑞鑫 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学;上海航天控制技术研究所 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656;G01C19/5663 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 庄文莉 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种谐振微陀螺，包括基底(100)、谐振器(102)；所述谐振器(102)设置在基底(100)上；所述谐振器(102)包括凸出部(101)、双梁环(103)；所述凸出部(101)的中心点与基底(100)的中心点重合；所述双梁环(103)的一端沿周向与凸出部(101)相连接。本发明还提供了一种谐振微陀螺的制备方法。本发明提供的制备方法步骤简洁，利于批量生产；谐振微陀螺具有高度对称性，且结构相对稳定，抗冲击，具有优良的性能；分布在谐振器外围边缘的电极相对于分布在谐振器中同心圆环内部的电极而言，可以提高谐振陀螺的Q值，因而响应更加灵敏。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振器 谐振 微陀螺 凸出部 基底 电极 双梁 制备 制备方法步骤 高度对称性 中心点重合 同心圆环 外围边缘 谐振陀螺 抗冲击 中心点 灵敏 响应 生产 | ||
【主权项】：
1.一种谐振微陀螺，其特征在于，包括基底(100)、谐振器(102)；所述谐振器(102)设置在基底(100)上；所述谐振器(102)包括凸出部(101)、双梁环(103)；所述凸出部(101)的中心点与基底(100)的中心点重合；所述双梁环(103)的一端沿周向与凸出部(101)相连接。
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