[发明专利]电极谐振微陀螺有效
| 申请号： | 201810651368.2 | 申请日： | 2018-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN108871302B | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 张卫平;谷留涛;刘朝阳;李敏阳;田梦雅;崔峰;张钰莹;成宇翔;赵万良;刘瑞鑫 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学;上海航天控制技术研究所 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 庄文莉 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电极谐振微陀螺，包括基体(1)、谐振体(2)；所述谐振体(2)设置在基体(1)上；所述基体(1)具有容纳腔(4)；所述谐振体(2)设置在容纳腔(4)内。所述谐振体(2)底部延伸出固定部(3)；所述容纳腔(4)设置有固定部容纳槽；所述固定部(3)与固定部容纳槽相匹配；所述固定部(3)固定在固定部容纳槽内。本发明提供的加工工艺为平面微细加工工艺，加工方便，利于批量生产；通过腐蚀二氧化硅牺牲层形成底部支撑柱，可以精准的控制支撑柱的大小，并实现结构的自对称。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 谐振 陀螺 | ||
【主权项】：
1.一种电极谐振微陀螺，其特征在于，包括基体(1)、谐振体(2)；所述谐振体(2)设置在基体(1)上；所述基体(1)具有容纳腔(4)；所述谐振体(2)设置在容纳腔(4)内。
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