[发明专利]一种铌酸锂光波导偏振器及制备方法在审
| 申请号： | 201810652880.9 | 申请日： | 2018-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN108535804A | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 蒋海军 | 申请（专利权）人： | 南京天正明日自动化有限公司;南京孚日软件有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 王戈 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市江北新区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种铌酸锂光波导偏振器及制造方法，所述铌酸锂光波导偏振器包括：铌酸锂衬底、在所述铌酸锂衬底的上表面下沉形成钛扩散波导区和反质子交换区；所述钛扩散波导区和所述反质子交换区对应设置且连通；所述钛扩散波导区用于放置钛扩散波导；所述钛扩散波导为间断的条形钛膜；所述反质子交换区用于放置反质子交换波导。本发明在所述铌酸锂衬底的上表面设置钛扩散波导区和反质子交换区；并将所述钛扩散波导区和所述反质子交换区对应连通设置，进而解决退火质子交换的模场匹配问题，减小光波导表面散射，降低光波导的传输损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 钛扩散波导 交换区 铌酸锂光波导 偏振器 铌酸锂 衬底 上表面 退火 光波导表面 传输损耗 连通设置 模场匹配 质子交换 光波导 散射 波导 减小 钛膜 下沉 制备 连通 交换 制造 | ||
【主权项】：
1.一种铌酸锂光波导偏振器，其特征在于，所述铌酸锂光波导偏振器包括：铌酸锂衬底、在所述铌酸锂衬底的上表面下沉形成钛扩散波导区和反质子交换区；所述钛扩散波导区和所述反质子交换区对应设置且连通；所述钛扩散波导区用于放置钛扩散波导；所述钛扩散波导为间断的条形钛膜；所述反质子交换区用于放置反质子交换波导。
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