[发明专利]一种高效透氧的ITO靶材摆放-烧结方法在审
| 申请号： | 201810653336.6 | 申请日： | 2018-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN108530055A | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 余永强;马立云;那嘉;周传水;向光;王友乐;张玲莉;柯尚文;李隽;康明锋;范家伟;董永亮 | 申请（专利权）人： | 广东凯盛光伏技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/457 | 分类号： | C04B35/457;C04B35/64 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 左恒峰 |
| 地址： | 528137 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高效透氧的ITO靶材摆放‑烧结方法，步骤如下：1)将ITO粉末成型，得到ITO靶坯，再对ITO靶坯进行干燥；2)将垫片放置在承烧板上，再在垫片上放置一层直径0.5～1mm的瓷球，再将ITO靶坯放置在瓷球上；3)将步骤2)设置好ITO靶坯的承烧板放进烧结炉进行烧结，再进行打磨，得到ITO靶材。本发明可以大大提高ITO靶坯烧结时的透氧率，增加了ITO靶材烧结后的密度，提高了ITO靶材的质量，且烧结后ITO靶材底面不会产生垫片印，不会污染靶材，减少了后加工过程中因磨削而造成的靶材消耗。 | ||
| 搜索关键词： | 烧结 垫片 承烧板 靶材 瓷球 摆放 烧结炉 透氧率 底面 磨削 成型 打磨 消耗 污染 | ||
【主权项】：
1.一种高效透氧的ITO靶材摆放‑烧结方法，其特征在于：步骤如下：1)将ITO粉末成型，得到ITO靶坯，再对ITO靶坯进行干燥；2)将垫片放置在承烧板上，再在垫片上放置一层直径0.5～1mm的瓷球，再将ITO靶坯放置在瓷球上；3)将步骤2)设置好ITO靶坯的承烧板放进烧结炉进行烧结，再进行表面打磨，得到ITO靶材。
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