[发明专利]红外探测器及其制备方法有效
| 申请号： | 201810653342.1 | 申请日： | 2018-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN110634891B | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 黄勇;赵宇;吴启花 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | H01L27/144 | 分类号： | H01L27/144;H01L31/105 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种红外探测器，包括：N型衬底；探测部，设置于所述N型衬底上，所述探测部包括多个叠层设置的探测单元；上电极，设置于所述探测部上；下电极，设置于所述N型衬底上。其中，所述探测单元包括N型接触层，以及依序叠层设置在所述N型接触层上的N型超晶格导电层、超晶格吸收层、P型超晶格导电层及P型接触层，相邻所述探测单元间形成隧道结。本发明还公开了一种红外探测器的制作方法。本发明的红外探测器通过多个探测单元对光子进行有效吸收，保证了量子效率且加工简单，减小了红外探测器的加工的难度，此外还有效降低了暗电流。 | ||
| 搜索关键词： | 红外探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种红外探测器，其特征在于，包括：/nN型衬底；/n探测部，设置于所述N型衬底上，所述探测部包括多个叠层设置的探测单元；其中，所述探测单元为P-I-N型结构，相邻所述探测单元间形成隧道结；/n上电极，设置于所述探测部上；/n下电极，设置于所述N型衬底上；/n所述红外探测器工作时，所述探测单元吸收待测红外光信号并且所述探测单元将所述待测红外光信号转换为电信号，所述电信号通过所述隧道结进行传输。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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