[发明专利]真空炉及其视窗清洁装置

摘要

本发明涉及一种真空炉及其视窗清洁装置，真空炉的外侧设有供视窗安装的安装座，清洁装置包括抽拉杆和清洁头。抽拉杆穿设到安装座内，并可向安装座内外抽拉移动；清洁头位于抽拉杆的内端。在抽拉杆抽拉过程中，对视窗的内侧面清洁。清洁装置可实现常温及高温工况下视窗的在线清洁，在视窗内侧被污染遮挡观察后，实时在线对视窗内侧面进行清洁，保证原位测量装置在高温高真空环境中的测量精度，清洁过程操作方便，还保证了炉腔内的真空度。

主权项

1.一种真空炉的视窗清洁装置，所述真空炉的外侧设有供视窗（8）安装的安装座（9），其特征在于，所述清洁装置（7）包括抽拉杆（71）和清洁头（72）；所述抽拉杆（71）穿设到所述安装座（9）内，并可向所述安装座（9）内外抽拉移动；所述清洁头（72）位于所述抽拉杆（71）的内端，在所述抽拉杆（71）抽拉过程中，对所述视窗（8）的内侧面清洁。