[发明专利]一种采用硅扭簧的微推力测量装置

摘要

本发明是一种采用硅扭簧的微推力测量装置，具体为一种通过硅的微加工工艺制作的硅扭簧，利用硅扭簧和光路将微推进器的微推力位移进行放大，从而实现对微小推力的高灵敏度测量。微推力测量装置能够对微推进器的推力性能进行直接的测量和评估，在微推进器的研发和评估中起着重要的作用。此外，在一些新兴领域包括空间卫星控制技术、生物力学、微型机器人以及仿生学等也对微牛级、纳牛级以及更小力的推力测量技术有着越来越高的要求，本发明属于航空、航天、微力测量、微推进技术和微机械领域。

主权项

1.一种采用硅扭簧的微推力测量装置，其特征在于：包括硅扭簧，反光镜，微推进器，微推进器支架，硅扭簧支架Ⅰ，硅扭簧支架Ⅱ，底座，微推进器固定件，硅扭簧固定件Ⅰ，硅扭簧固定件Ⅱ，玻璃罩，激光光源；所述硅扭簧为对称结构，由硅片通过微加工工艺制成，包括硅扭簧固定端Ⅰ，硅扭簧固定端Ⅱ，扭簧梁Ⅰ，扭簧梁Ⅱ和摆转板；所述扭簧梁Ⅰ和扭簧梁Ⅱ分别与摆转板两侧中间位置相连，在硅扭簧Ⅰ另一端加工出硅扭簧固定端Ⅰ，扭簧梁Ⅱ另一端加工出硅扭簧固定端Ⅱ；所述反光镜为采用溅射工艺在摆转板上中间位置溅射的一层金属铬；所述的微推进器固定件与微推进器支架、硅扭簧固定件Ⅰ与硅扭簧支架Ⅰ、硅扭簧固定件Ⅱ与硅扭簧支架Ⅱ之间的连接方式都采用螺钉拧紧固定；所述玻璃罩顶部弧面上标有刻度线，内部放置硅扭簧微推力测量装置，外部用激光光源以与水平夹角为30°～60°的角度照射在反光镜上。