[发明专利]显示器制造装置和使用其的显示器制造方法有效
| 申请号： | 201810657092.9 | 申请日： | 2018-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN109306453B | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 相泽雄树;星野孝雄;佐藤功康 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供显示器制造装置和使用其的显示器制造方法，显示器制造装置包括进行对处理对象体的处理的腔室、在所述腔室内移动的移动体、用于使所述移动体移动且包括被施加润滑构件的润滑部位的移动机构、和以至少覆盖所述移动机构的所述润滑部位的方式与所述移动机构相邻地设置的罩构件。由此，能够利用罩构件遮断从腔室内的移动机构朝向处理对象体飞散的润滑构件。 | ||
| 搜索关键词： | 显示器 制造 装置 使用 方法 | ||
【主权项】：
1.一种显示器制造装置，其特征在于，该显示器制造装置包括：腔室，进行对处理对象体的处理；移动体，在所述腔室内移动；移动机构，用于使所述移动体移动，且包括被施加润滑构件的润滑部位；以及罩构件，以至少覆盖所述移动机构的所述润滑部位的方式与所述移动机构相邻地设置。
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