[发明专利]用作电子传输层的氧化物薄膜的制备方法及其应用在审
| 申请号： | 201810660498.2 | 申请日： | 2018-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN109037457A | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 曾文进;王惠平 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | H01L51/48 | 分类号： | H01L51/48;H01L51/00;H01L51/42 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 吴飞 |
| 地址： | 210023 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用作电子传输层的氧化物薄膜的制备方法及其应用，该氧化物薄膜的制备方法包括下述步骤：1)配置氧化物前驱体溶液，搅拌均匀待用；2)在衬底表面滴加氧化物前驱体溶液开始旋涂，旋涂结束后将衬底转移至含有诱导溶剂超纯水的密封容器中；3)对密封容器加热、使其内部形成水热环境，衬底表面发生水热反应、形成氧化物薄膜。本发明通过在密封容器中添加诱导溶剂，高温高压下，诱导溶剂在密封容器内雾化，促进衬底表面的氧化物前驱体溶液发生水热反应，从而可以在较低的温度条件下制备晶型可控且粗糙度较小的氧化物薄膜，将其用于太阳能电池器件中作为电子传输层时，能够有效改善器件的光伏性能。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化物薄膜 密封容器 氧化物前驱体 电子传输层 衬底表面 溶剂 制备 诱导 水热反应 旋涂 太阳能电池器件 衬底转移 高温高压 光伏性能 水热环境 温度条件 制备晶型 超纯水 粗糙度 滴加 可控 雾化 加热 应用 配置 | ||
【主权项】：
1.一种用作电子传输层的氧化物薄膜的制备方法，其特征在于，包括下述步骤：1)配置氧化物前驱体溶液，搅拌均匀待用；2)在衬底表面滴加氧化物前驱体溶液开始旋涂，旋涂结束后将衬底转移至含有诱导溶剂超纯水的密封容器中；3)对密封容器加热、使其内部形成水热环境，衬底表面发生水热反应、形成氧化物薄膜。
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H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
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