[发明专利]一种薄膜太阳能电池吸收层的沉积掺杂装置

摘要

本发明公开一种薄膜太阳能电池吸收层的沉积掺杂装置，包括沉积室、第一供给机构、第二供给机构和蒸发加热机构，沉积室内设置有容器，容器用于接收第一供给机构向沉积室中输送的源材料，沉积室上设置用于将源材料加热成源材料蒸气的沉积加热件，第二供给机构将掺杂材料输送至蒸发加热机构加热成掺杂材料蒸气，掺杂材料蒸气通过蒸气管输送入沉积室，蒸气管上设置有第三开关，源材料蒸气和掺杂材料蒸气从沉积室中输出沉积在基底上。本发明将沉积和掺杂一体化，可进行源材料的沉积，也可进行扩散掺杂，设备简单、结构紧凑，掺杂加热温度低，有效避免出现晶格缺陷，不会导致掺杂材料再分布，保障薄膜太阳能电池吸收层具有良好稳定的性能。

主权项

1.一种薄膜太阳能电池吸收层的沉积掺杂装置，其特征在于，包括沉积室(1)、第一供给机构(2)、第二供给机构(3)和蒸发加热机构(4)，所述的沉积室(1)内设置有容器(11)，所述的容器(11)用于接收第一供给机构(2)向沉积室(1)中输送的源材料，沉积室(1)上设置用于将源材料加热成源材料蒸气的沉积加热件(12)，所述的第二供给机构(3)将掺杂材料输送至蒸发加热机构(4)加热成掺杂材料蒸气，掺杂材料蒸气通过连接在蒸发加热机构(4)与沉积室(1)之间的蒸气管(44)输送入沉积室(1)，蒸气管(44)上设置有第三开关(45)，源材料蒸气和掺杂材料蒸气从沉积室(1)中输出沉积在基底(5)上。