[发明专利]电极堆栈布置在审
| 申请号： | 201810661714.5 | 申请日： | 2014-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN108962708A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | W.H.乌尔巴努斯;M.J-J.维兰德 | 申请（专利权）人： | 迈普尔平版印刷IP有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/12;H01J37/16;H01J37/30;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 高巍 |
| 地址： | 荷兰*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种准直器电极，其包括设置有中心电极孔(82)的电极主体(81)，其中所述电极主体限定介于两个相反的主要表面之间的电极高度，并且其中所述电极主体在所述电极主体内部容纳用于传送冷却液体(102)的冷却导管(105)。所述电极主体优选地具有圆盘形状或扁圆环形状。本发明还涉及一种适用于带电粒子束产生器的准直器电极堆叠，其包括：第一准直器电极和第二准直器电极，其各自设置有用于传送所述冷却液体(102)的冷却导管(105)；以及连接导管(110)，其用于所述第一及第二准直器电极的所述冷却导管之间的液体连接。 | ||
| 搜索关键词： | 电极主体 电极 准直器 冷却导管 冷却液体 传送 带电粒子束 电极堆叠 电极堆栈 连接导管 液体连接 圆盘形状 中心电极 扁圆环 产生器 优选 容纳 | ||
【主权项】：
1.一种准直器电极，其包括电极主体(81)，其中所述电极主体设置有中心电极孔(82)，其中所述电极主体限定介于两个相反的主要表面之间的电极高度(He)，并且其中所述电极主体在所述电极主体内部容纳用于传送冷却液体(102)的冷却导管(105)，其中所述冷却导管(105)包括：第一开口(103)，其用于连接至液体供应结构(117)；以及第二开口(104)，其用于连接至液体排放结构(118)，以及其中所述第一开口(103)和所述第二开口(104)位于所述准直器电极的侧表面(85)中。
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