[发明专利]一种掩膜版及配向曝光方法在审
申请号: | 201810665897.8 | 申请日: | 2018-06-26 |
公开(公告)号: | CN108873597A | 公开(公告)日: | 2018-11-23 |
发明(设计)人: | 刘厚文;林祥;潘浩;李龙 | 申请(专利权)人: | 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司;南京中电熊猫平板显示科技有限公司;南京华东电子信息科技股份有限公司 |
主分类号: | G03F1/54 | 分类号: | G03F1/54;G02F1/1337 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 210033 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种掩膜版,包括:平行设置的第一遮光板和第二遮光板以及固定第一遮光板和第二遮光板的控制平台,第一遮光板位于待配向基板的上方,第二遮光板位于第一遮光板的上方;控制平台带动第一遮光板和第二遮光板沿第一方向和第二方向同步运动,第一遮光板包括至少一个第一透光区,第一透光区包括沿第一方向等间距排列的多个第一透光单元所述第一透光单元的周围为第一遮光区,第二遮光板包括至少一个第二透光区,第二透光区包括沿第一方向等间距排列的多个第二透光单元,第二透光单元的周围为第二遮光区,第一方向和第二方向相互垂直,可以解决现有掩膜版叠加造成产品不良问题,同时可以降低成本,提升产品的质量。 | ||
搜索关键词: | 遮光板 透光单元 透光区 掩膜版 等间距排列 控制平台 遮光区 不良问题 配向基板 平行设置 同步运动 配向 叠加 垂直 曝光 | ||
【主权项】:
1.一种掩膜版,包括:平行设置的第一遮光板和第二遮光板以及固定第一遮光板和第二遮光板的控制平台,第一遮光板位于待配向基板的上方,第二遮光板位于第一遮光板的上方;其特征在于:所述控制平台带动第一遮光板和第二遮光板沿第一方向和第二方向同步运动,所述第一遮光板包括至少一个第一透光区,所述第一透光区包括沿第一方向等间距排列的多个第一透光单元所述第一透光单元的周围为第一遮光区,所述第二遮光板包括至少一个第二透光区,所述第二透光区包括沿第一方向等间距排列的多个第二透光单元,所述第二透光单元的周围为第二遮光区,所述第一方向和第二方向相互垂直。
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G03 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备
G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
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